離子風(fēng)機(jī)對產(chǎn)品和設(shè)備的ESD性能和污染控制給予同樣的關(guān)注，潔凈室中的服裝和材料最好用靜電耗散材料制作，并可以接地。”其它的行業(yè)，尤其是在磁頭驅(qū)動行業(yè)，采用了更多的潔凈室防靜電材料。過去，磁頭驅(qū)動行業(yè)僅在IC（芯片、微芯片）的生產(chǎn)中采用ESD控制技術(shù)。但現(xiàn)在已經(jīng)有更多的行業(yè)采用了ESD控制技術(shù)。
因?yàn)殪o電放電（ESD）對精密電路、磁盤的影響，電子行業(yè)面臨著巨大的挑戰(zhàn)。它們每年將會損失數(shù)十億美元。僅僅5V的電壓都可能損壞那些微小精密的組件，小于100V的電壓可能使整個電子電路報(bào)廢。在受ESD影響的領(lǐng)域，潔凈室管理者們在生產(chǎn)線上都要考慮到由ESD引起的失效和損壞百分比。
然而，ESD控制材料又容易引起污染——靜電耗散材料是潔凈室中塵粒和化學(xué)污染的一個主要來源。為對ESD進(jìn)行控制，潔凈室內(nèi)的物品都是由靜電耗散材料組成，能阻止ESD和靜電吸引。選擇適合潔凈室的防靜電離子風(fēng)機(jī)用品是個很大的挑戰(zhàn)。然而，ESD的解決方案比尋找靜電耗散材料更復(fù)雜。因此，專家推薦了一套ESD控制程序。
可用技術(shù)
在潔凈室中可采用為靜電耗散設(shè)計(jì)的產(chǎn)品：棉簽、擦拭布、膠水、布料、墻壁材料、手腕帶、手套、工衣等。然而，靜電耗散材料也可能產(chǎn)生污染，很多由塑料或不銹鋼制作的潔凈室產(chǎn)品可能積聚或傳導(dǎo)電量ESD產(chǎn)品的生產(chǎn)商對于開發(fā)新型的靜電耗散材料已經(jīng)有了一定難度。IC的在變小，靜電敏感度也在增強(qiáng)。近三年，很多電子產(chǎn)商也開始要求更多的離子風(fēng)機(jī)ESD產(chǎn)品。
找到合適的防靜電原材料有一定難度。掩光板由塑料制成，用很好的耐磨損性，低揮發(fā)物和耐化學(xué)性，是用于潔凈室的很好的材料。要找到很有透明度的原材料是困難的。添加劑和共聚物由于含有不同折射率的組成而使材料變成不透明的。而且，塑料必須具有很好的表面電阻。
靜電吸附
在潔凈室中因?yàn)榇嬖陟o電，使去除污染變得比較困難。塵粒由于靜電的作用總是容易粘到硅片上，導(dǎo)致產(chǎn)品損壞、優(yōu)率降低。我們最大的問題是要找到適合潔凈室使用的防靜電材料。在LCD行業(yè)，玻璃基板的變大，吸引電荷的能力也增強(qiáng)。由于基板的尺寸大，任何污染都可能導(dǎo)致優(yōu)率降低。
與其它的污染控制行業(yè)一樣，LCD行業(yè)也一直在尋找能解決ESD問題的新型材料。在潔凈室使用的材料也更可能地使用防靜電離子風(fēng)機(jī)，在棉簽和抹布上也可以嘗試發(fā)現(xiàn)新材料來代替?zhèn)鹘y(tǒng)材料。
適合型
為什么潔凈室中沒有適合的ESD產(chǎn)品？在過去的3到5年里，廠商們在提供產(chǎn)品給潔凈室使用都時認(rèn)識到，潔凈室中需要ESD產(chǎn)品。但是，尋找能用于潔凈室中的ESD產(chǎn)品是個問題。因?yàn)楹芏嘤糜跐崈羰业腅SD產(chǎn)品的性能不夠穩(wěn)定。
在潔凈室中ESD控制的最大難題是人員在潔凈室中的走動。因?yàn)槿舜┲罅康木埘ヮ惪椢铮瑫a(chǎn)生大量的電荷。在潔凈室中去除這種電荷唯一的辦法是接地。
在過去的五年里，人們發(fā)現(xiàn)用碳素纖維和織物混合制成的工衣系統(tǒng)能提供適用ISO5（Class100）級的潔凈室要求。
此類工衣的各個部位都具有相同的電導(dǎo)率，并且從頭罩到腳底都有導(dǎo)電連接。在潔凈室中工作的人員穿上此類衣服行走時可以通過導(dǎo)電的鞋底接地而不用通過接地線進(jìn)行接地，這樣就不受接地線的長度限制。
此類工衣的出現(xiàn)是對產(chǎn)品的高要求的結(jié)果，有助于降低潔凈室中由于ESD問題而引起的低收率和高壞品率。
對ESD離子風(fēng)機(jī)控制沒有便宜快捷的修補(bǔ)方法，關(guān)鍵是對ESD的控制，比如懸掛層流離子風(fēng)機(jī)，或是在需要控制ESD的材料旁安裝離子風(fēng)機(jī)。隨著芯片（IC）尺寸的減少，對ESD越發(fā)敏感?，F(xiàn)在，對ESD的控制已不僅僅局限于對工作網(wǎng)絡(luò)的保護(hù)，還需對晶片和生產(chǎn)晶片的人員進(jìn)行控制。很多高標(biāo)準(zhǔn)要求的公司正在這樣對ESD進(jìn)行控制。
